プラズマとは気体が電離した状態を指し正電荷と負電荷がほぼ同じ密度で分布している粒子の集団で,正イオン、負イオン、電子、ラジカル、中性分子から構成されています。
そのそれぞれの構成粒子を活用することによって、微細加工・薄膜合成・表面改質・殺菌・除菌・消毒・除害・光源などさまざまな場面で活用されています。