真空乾燥– VACUUM DRYING OVEN –

真空乾燥炉

ドライルーム仕様・金属コンタミ対策を施し、処理レシピ設定による自在な真空、加熱、冷却制御が可能な乾燥炉を提供いたします。


概要
  • 壁面外部ヒータによる均一なワーク過熱が可能できわめてクリーンな加熱環境を提供
  • ドライポンプを使用しているので長時間に渡りメンテナンスフリー
  • 個々のワークに対応した特殊仕様も対応可能

特徴
  • フルオート搬送機装備
  • 加熱時の温度のオーバーシュート対策
  • 炉内腐食対策
  • 金属コンタミネーション対策
  • ドライルーム内設置面積を極小化できる装置構造
  • ドライルーム内設置体積を極小化できる装置構造
  • ストッカーの設備を可能とするハード・ソフト構成
  • 処理条件データのログ機能
  • ドライルームと一般環境を隔離するパスボックス仕様への対応
  • 乾燥終点検出機能によるタクトタイムの短縮化対策
  • バーコード/RFIDによる工程履歴管理
  • 生産実行システム(MES)とのオンラインコミュニケーション機能
  • リモートメンテナンス機能による迅速なサービスのご提供

仕様
スクロールできます
型式VDOS-XXX(MEIKO Vacuum Drying Oven System)
方式真空・壁面加熱(外部加熱)
仕様温度40℃~200℃
制御方法3ゾーン独立制御
高速均熱加熱機構高圧不活性ガス循環
均熱特性±5℃(炉内中心軸に沿った点にて)
冷却方式炉体外壁強制空冷ラジエーター+炉内高圧不活性ガス循環
到達真空度50Pa以下
リークレート1E-8Pa・m3/sec以下
炉内寸法製作可能範囲(内径300~3000mm、長さ~4500mm)
材質SUS304/SUS316
排気DRYポンプによるメンテフリー化

ロール搬送式真空熱処理装置

二次電池の極版をはじめ高機能フィルムを乾燥またはアニールする真空熱処理装置
センサとハロゲンランプによる高精度温度管理で加熱ダメージを最小限に
1000mmまでの幅広いロールも乾燥可能

ロール搬送式真空熱処理装置

概要

「ROLL to ROLL式真空加熱乾燥機」は非接触温度センサーとハロゲンランプによる高精度な温度管理により、加熱ダメージダメージを最小限に抑えた極版・高機能フィルム向けの真空熱処理装置です。また、Roll to Roll方式を採用していますのでロール全長に渡り、均一かつ高速で乾燥が可能です。

・真空度 : 大気圧~10Paでテストが可能 


特徴
  • 熱膨張による物理ダメージの最小化
  • 100mm~1000mmまでの幅広いワークも熱処理可能
  • 非接触温度センサーとハロゲンランプによる高精度な温度管理

仕様
スクロールできます
ワーク幅〜400mm
ワーク外径〜800mm
コーン内径3°(チャック径)
搬送速度50〜500mm/sec
テンション4〜400N
巻き取り蛇行補正±1mm
加熱方式ハロゲンによる外部加熱方式
加熱温度〜150°
真空到達度100Pa以下(無負荷)